電子束蒸發(fā)散熱用工業(yè)冷水機

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參考價: ￥ 155000

訂貨量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品牌邁浦特 MAIPT

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地蘇州市

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更新時間：2025-08-15 08:45:07瀏覽次數(shù)：52次

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產(chǎn)品分類 品牌分類

  邁浦特 MAIPT

邁浦特機械（四川）有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：57條

所在地區(qū)：四川成都市

聯(lián)系人：馬斌（銷售工程師）

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產(chǎn)品簡介

電子束蒸發(fā)散熱用工業(yè)冷水機為解決上述痛點設計，采用高精度閉環(huán)制冷系統(tǒng)，控溫范圍 5 - 35℃，溫度穩(wěn)定性達 ±0.5℃，可承受 500 - 800W/cm² 的熱流密度，適配 10?? - 10??Pa 高真空環(huán)境。通過精準冷卻電子槍陽極與坩堝底部，使薄膜厚度均勻性提升至 ±1% 以內(nèi)，附著力≥40MPa。馬(技術(shù)員企微）：①⑨①⑧②②o④④⑦⑥

詳細介紹

一、產(chǎn)品簡介

電子束蒸發(fā)鍍膜工藝中，電子槍（功率 1 - 50kW）、坩堝（溫度≥1500℃）、真空室壁等核心部件會產(chǎn)生集中的熱量，若散熱失效，1℃的溫度波動就會導致薄膜沉積速率偏差≥2%、折射率波動≥0.005，直接造成鏡片透光率下降 3% 以上、半導體鍍層電阻率超標 5%。傳統(tǒng)水冷設備存在控溫精度低（±2℃）、真空兼容性差（泄漏率≥1×10??Pa?m3/s）等問題，導致鍍膜合格率不足 85%。

電子束蒸發(fā)散熱用工業(yè)冷水機為解決上述痛點設計，采用高精度閉環(huán)制冷系統(tǒng)，控溫范圍 5 - 35℃，溫度穩(wěn)定性達 ±0.5℃，可承受 500 - 800W/cm2 的熱流密度，適配 10?? - 10??Pa 高真空環(huán)境。通過精準冷卻電子槍陽極與坩堝底部，使薄膜厚度均勻性提升至 ±1% 以內(nèi)，附著力≥40MPa.

二、產(chǎn)品描述

（一）高功率密度制冷系統(tǒng)

核心配置：實現(xiàn) 5 - 35℃寬域控溫，靜態(tài)精度 ±0.5℃。針對電子槍與坩堝的差異化散熱需求，設計 2 - 4 路獨立回路（流量 0.5 - 5m3/h 可調(diào)），通過電磁比例閥動態(tài)分配流量，確保兩者溫差≤1℃，真空室壁軸向溫差≤1.5℃。

瞬態(tài)響應技術(shù)：內(nèi)置脈沖制冷補償模塊，當電子束功率從 10kW 驟升至 30kW 時（熱負荷突變 200%），3 秒內(nèi)提升制冷量至額定值的 150%，避免溫度超調(diào)（≤0.8℃），解決薄膜沉積初期的厚度偏差問題（從 ±5% 降至 ±1%）。

（二）真空環(huán)境適配設計

低污染架構(gòu)：與冷卻介質(zhì)接觸的管路、泵體采用 316L 不銹鋼（電解拋光 Ra≤0.02μm），密封件選用全氟醚橡膠（蒸發(fā)率≤1×10?1?Pa?m3/s），避免揮發(fā)物污染真空室（顆粒物濃度≤1 個 /cm3）。配備超純水循環(huán)系統(tǒng)（電阻率≥18.2MΩ?cm），通過 0.2μm 終端過濾器，確保冷卻水電導率≤0.1μS/cm，防止電子槍短路（故障率從 0.5 次 / 月降至 0.05 次 / 月）。

防泄漏控制：采用 KF 真空法蘭接口（泄漏率≤1×10??Pa?m3/s），配合壓力傳感器（精度 ±0.01MPa）實時監(jiān)測回路密封性，當真空度低于 10??Pa 時自動提升水壓 0.2MPa，杜絕氣蝕現(xiàn)象（氣泡含量≤0.01%）。

（三）智能聯(lián)動系統(tǒng)

設備協(xié)同：通過 RS485 接口與電子束蒸發(fā)機（如德國 Leybold、中國北儀創(chuàng)新）聯(lián)動，實時接收束流強度（10 - 100mA）、蒸發(fā)速率信號，自動調(diào)節(jié)制冷量。支持遠程監(jiān)控（OPC UA 協(xié)議），可接入 MES 系統(tǒng)記錄溫度曲線與薄膜參數(shù)（存儲時間≥3 年），滿足半導體行業(yè)追溯要求。